Modulo DIC: Contrasto differenziale di interferenza. Con la riprogettazione del modulo DIC, la visualizzazione delle differenze di altezza che normalmente non possono essere visualizzate con le tecniche di campo chiaro è stata notevolmente migliorata. Tutti gli obiettivi progettati per la luce riflessa con correzione all'infinito sono sufficienti per il microcampo. Quando si utilizza il DIC con la luce riflessa, la geometria della superficie può spesso essere interpretata come una vera e propria rappresentazione tridimensionale. Si distingue chiaramente tra aree in rilievo e aree in depressione nel campione. Queste immagini in rilievo sono ideali per l'ispezione della superficie di wafer, schermi LCD, ecc.